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摘要:
半导体生产系统是目前世界上公认的最复杂的制造系统,与其他制造系统相比,其生产管理是一项极其复杂和繁琐的工作.半导体生产由于其自身的多约束、多目标、可重入、大规模、计算复杂等特点,引起了国内外众多学者的研究和关注.本文对半导体制造现状进行了研究,并对未来半导体制造发展前景进行展望.
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文献信息
篇名 半导体制造现状及前景展望
来源期刊 大科技 学科 经济
关键词 半导体制造 生产计划 生产调度
年,卷(期) 2017,(8) 所属期刊栏目 研究园地
研究方向 页码范围 335
页数 1页 分类号 F253.2
字数 1966字 语种 中文
DOI
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序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 倪妍婷 成都大学机械工程学院 12 12 2.0 3.0
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半导体制造
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生产调度
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