电子级多晶硅生产技术探讨

• 作者: 于跃 吴锋 田新
• 来源期刊: 山东化工
• 学科: 工学
• 关键词: 电子级 多晶硅 耦合生产系统
• 年，卷（期）: 2017,（18）
• 所属期刊栏目: 生产与应用
• 页码范围: 116-117,122
• 页数: 3页
• 分类号: TQ426.95
• 字数: 2885字
• 语种: 中文

摘要

高端电子级多晶硅是集成电路产业的基础,但由于其对产品纯度和稳定性的苛刻要求,国内并没有厂家能够进行商业化量产,这并不利于集成电路行业的健康稳定发展.本文在国内已掌握的改良西门子法多晶硅生产技术的基础上,结合国外先进技术,对精馏、还原的工艺和配套设备都进行了改良,并将光伏级多晶硅和电子级多晶硅生产系统进行了耦合,提高了效率,降低了整体生产成本,降低了原料对于电子级多晶硅生产的制约,形成了闭路循环生产体系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴锋		5	7	2.0	2.0
2	于跃		6	8	2.0	2.0
3	田新		5	8	2.0	2.0