应用于IC制造领域的磁悬浮定位平台综述

• 作者: 刘吉柱 张新兰 张雯雯 李健 魏颖婕
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: 磁悬浮 精密定位 解耦 控制方法
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 综述与分析
• 页码范围: 162-166,113
• 页数: 6页
• 分类号: TP29
• 字数: 4696字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2017.07.040

摘要

磁悬浮技术由于无摩擦、无磨损、无污染、具有高加速度和高速度等突出优点,在当前IC 等制造领域具有广阔的应用前景,尤其适用于高真空、高洁净工作环境,新型磁悬浮定位技术成为国内外竞相研究热点.磁悬浮定位平台是一个非线性、多变量、强耦合的控制系统,为了实现控制系统的完全解耦,提高平台的定位精度,在结构、解耦方法和控制方法上,总结了国内外研究学者所做的大量研究,指出磁悬浮定位平台亟需解决的关键核心技术,优化磁悬浮定位平台性能,为IC制造领域的迅速发展提供可借鉴的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张新兰		1	1	1.0	1.0
2	魏颖婕		1	1	1.0	1.0