力电多场鼓包法测定PZT铁电薄膜的横向压电系数

• 作者: 何元东 孙长振 张宏龙 方岱宁 毛卫国 毛贻齐 裴永茂 陈彦飞
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: 横向压电系数 鼓包测试 力电耦合本构 锆钛酸铅薄膜
• 年，卷（期）: 2017,（15）
• 所属期刊栏目: 铁电及铁磁材料
• 页码范围: 139-144
• 页数: 6页
• 分类号: O341
• 字数: 3955字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2017.015.021

摘要

为表征Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 (PZT)薄膜的横向压电性能,以纯力场鼓包测试模型和铁电薄膜材料压电方程为基础,推导了PZT铁电薄膜的力电耦合鼓包本构模型.采用溶胶-凝胶法制备了PZT铁电薄膜,并通过化学腐蚀法获得PZT薄膜鼓包样品.在外加电压为0～14 V的条件下进行鼓包测试.结果表明,在纯力场作用下,PZT薄膜的弹性模量和残余应力分别为91.9 GPa和36.2 MPa;随着电压从2V变化到14 V,PZT薄膜的横向压电系数d31从-28.9 pm/V变化到-45.8 pm/V.本工作所发展的力电耦合鼓包测试技术及力电耦合鼓包本构模型为评价铁电薄膜材料的横向压电性能提供了一种有效的分析方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛卫国	湘潭大学材料科学与工程学院	20	215	7.0	14.0
2	方岱宁	北京理工大学先进结构技术研究院	11	41	3.0	6.0
3	毛贻齐	湖南大学机械与运载工程学院	4	6	1.0	2.0
4	孙长振	湘潭大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0
5	何元东	湘潭大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0
6	张宏龙	北京大学工学院	2	0	0.0	0.0
7	陈彦飞	北京大学工学院	2	0	0.0	0.0
8	裴永茂	北京大学工学院	4	1	1.0	1.0