低磁场下驻波对螺旋波等离子体均匀性的影响

• 作者: 刘忠伟 杨丽珍 牛晨 陈强
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 驻波 均匀性 波诊断
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 227-232
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.045201

摘要

螺旋波放电具有很高的耦合效率,作为一种高密度等离子体源在材料表面处理、薄膜沉积、离子推进器等领域具有广阔的应用前景.不同的波模式下能量耦合的方式直接关系到源区的等离子体分布,进而影响扩散腔中材料的处理和沉积薄膜的均匀性.本文通过电特性(功率-电流)曲线、增强型电荷耦合相机和磁探针诊断等方式对螺旋波等离子体源中出现的角向不均匀性进行研究,认为天线下端出现的驻波螺旋波可能是造成这种现象的关键因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈强	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	125	542	10.0	17.0
2	杨丽珍	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	44	190	8.0	12.0
3	刘忠伟	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	25	62	5.0	7.0
4	牛晨	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	2	1	1.0	1.0