7003铝合金CMP后表面SiO2纳米颗粒清洗研究

• 作者: 卞达 吴中华 赵永武
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 7003铝合金 SiO2颗粒 非离子表面活性剂 清洗
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 专题论文
• 页码范围: 1149-1153
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 2288字
• 语种: 中文

摘要

通过在弱酸环境的水溶液条件下加入非离子表面活性剂辛基苯基聚氧乙烯醚,缓蚀剂焦磷酸二氢二钠和苯并三氮唑(BTA),并结合超声波的湿化学清洗方法,对化学机械抛光(CMP)后的7003铝合金表面的清洗进行了研究.利用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对清洗前后铝合金表面形貌进行对比分析.研究结果表明,辛基苯基聚氧乙烯醚能够保持颗粒和表面之间处于容易清洗的物理吸附状态,结合超声波协同作用可以对铝合金表面残留的SiO2颗粒进行有效的清洗.在一定范围内随着活性剂质量分数的递增,表面清洗效果逐渐改善,当质量分数为2%时,表面残留的SiO2颗粒基本被清洗干净,得到最优表面且未发生腐蚀现象.清洗后表面形成活性剂保护层,防止了颗粒的再次吸附.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵永武	江南大学机械工程学院	117	687	12.0	21.0
2	卞达	江南大学机械工程学院	22	33	4.0	4.0
3	吴中华	江南大学机械工程学院	2	5	2.0	2.0