氧等离子体反应器中氧化铝电介质特性

• 作者: 俞哲 张芝涛 徐书婧 李日红 田一平
• 来源期刊: 电工技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 介质阻挡放电 电介质 活性氧粒子 氧化铝陶瓷
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 放电等离子体及应用专题Ⅲ
• 页码范围: 74-81
• 页数: 8页
• 分类号: O539
• 字数: 4417字
• 语种: 中文

摘要

绝缘电介质层是氧等离子体反应器中的重要组成部分,高性能的电介质材料保证了氧等离子体反应器能够高效、稳定的运行.本文对氧化铝电介质材料的特性以及氧等离子体反应器长时间工作后电介质材料的特性变化进行了研究.结果表明,α-Al2O3电介质层表面光滑平整、无缺陷,相对介电常数约为9.79,具有较高的体积电阻率和表面电阻率,损耗因数很小,有利于氧等离子体反应器效能的提升;长时间工作后的α-Al2O3电介质层基底表面结构、相对介电常数与体积电阻率基本不变,但其表面会附着一层由316L不锈钢电极表面溅射产生的黄褐色固态颗粒物,降低电介质层的表面电阻率.研究结果对优化氧等离子体反应器具有一定的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张芝涛	大连海事大学轮机工程学院	89	1149	18.0	31.0
5	徐书婧	大连海事大学轮机工程学院	3	8	1.0	2.0
6	李日红	大连海事大学轮机工程学院	5	14	2.0	3.0
7	俞哲	大连海事大学物理系	12	65	5.0	8.0
8	田一平	大连海事大学物理系	9	40	4.0	6.0