半导体设备预测性维修技术分析

• 作者: 罗欣
• 来源期刊: 中国设备工程
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体设备 故障后维修 预防性维修 预测性维修 技术分析
• 年，卷（期）: 2017,（17）
• 所属期刊栏目: 维护与修理
• 页码范围: 68-69
• 页数: 2页
• 分类号: TN307
• 字数: 2794字
• 语种: 中文

摘要

多年的调查分析研究表明,预测性维修技术是维修领域近年来研究的重点对象,对其关注度逐渐提升.本文从预测性维修技术出发,首先分析故障后维修和预防性维修以及预测性维修,对三者的不同点和相同点及各自的优缺点做了相应的论述.近年来的半导体设备主要都是流水线作业生产,因此在流水线生产的过程中,只要有其中任何一台设备出现问题或发生故障,流水线作业的中断都会使整个作业过程中断,给公司或企业带来经济损失.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗欣		2	1	1.0	1.0