石墨烯纳米结构的制备及带隙调控研究

• 作者: 吕文刚 唐成春 张慧珍 李俊杰 李金涛 杨海方 顾长志
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 石墨烯 带隙调控 纳米结构
• 年，卷（期）: 2017,（21）
• 所属期刊栏目: 专题:与硅技术融合的石墨烯类材料及其器件研究
• 页码范围: 79-87
• 页数: 9页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.217301

摘要

石墨烯在未来微电子学领域有极大的应用前景,但是其零带隙的特点阻碍了石墨烯在半导体领域的应用.研究发现,打开室温下可用的石墨烯带隙所需要的石墨烯纳米结构尺度在10 nm以下,这一尺度的纳米结构一方面制备比较困难,另一方面器件可承载的驱动电流较小.因此,如何实现亚10 nm石墨烯纳米结构的有效加工以及如何在有效调控带隙的基础上增大石墨烯器件可承载的驱动电流,还需要进一步的研究.本文首先研究了利用聚甲基丙烯酸甲酯/铬(PMMA/Cr)双层结构工艺,通过刻蚀时间的控制,利用电子束曝光及刻蚀工艺实现了亚10 nm石墨烯纳米结构的可控制备.同时设计并制备了单排孔石墨烯条带结构,该结构打开的带隙远大于相同特征宽度石墨烯纳米带所能打开带隙的大小.该结构在有效打开石墨烯带隙的同时,增加了石墨烯纳米结构可以承载的驱动电流,有利于石墨烯在未来微电子领域的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾长志	中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室	21	86	5.0	8.0
2	杨海方	中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室	6	7	1.0	2.0
3	张慧珍	中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室	1	5	1.0	1.0
4	李金涛	青岛大学物理学院纳米材料和设备协同创新中心	1	5	1.0	1.0
5	吕文刚	中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室	2	5	1.0	2.0
6	唐成春	中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室	2	12	2.0	2.0