甚高频激发的容性耦合Ar+O2等离子体电负特性研究

• 作者: 唐成双 杨郁 虞一青 赵一帆 辛煜
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 激光诱导光致剥离 朗缪尔探针 电负性等离子体 电负度
• 年，卷（期）: 2017,（18）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 148-156
• 页数: 9页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.185202

摘要

利用探针辅助的脉冲激光诱导负离子剥离诊断技术对掺入5％O2的容性耦合Ar等离子体电负特性进行了诊断研究.首先详细解析了脉冲激光剥离后探针的电信号,分析了探针偏压在低于或高于空间电位下的探针收集信号特征;根据探针偏压与探针收集信号之间的依赖关系,用来描述Ar+O2等离子体电负特性的等离子体电负度被定义为脉冲激光剥离出的电子电流与偏压高于空间电位的探针收集到的背景电子电流的饱和比值,并对等离子体电负度随放电气压、射频功率以及轴向位置的变化进行了诊断测量.实验结果表明等离子体的电负度随着射频功率的增加而减小、随着放电气压的上升而变大;由于非对称电极的分布特性,在轴向方向上靠近功率电极时等离子体电负度有升高的趋势,这种趋势可能与鞘层边界附近二次电子的动力学行为以及负离子的产生与消失过程有关.