AMC在洁净室中的监测与控制

• 作者: 胡亚南
• 来源期刊: 技术与市场
• 关键词: 洁净室 AMC 监测 控制
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 技术研发
• 页码范围: 210
• 页数: 1页
• 字数: 1577字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8554.2017.11.127

摘要

近年来科学技术的不断发展,半导体工艺得以全面升级发展,使得洁净室控制质量的要求越来越苛刻.由于AMC在生产进程中针对不同制程均会产生不良的影响,使得成品质量受到严重的影响,如何针对AMC进行监测与控制就成为当前亟需解决的重要课题.