单靶溅射制备铜锌锡硫薄膜及原位退火研究

• 作者: 刘思佳 刘欣星 常发冉 杨敏 王书荣 赵其琛 郝瑞亭 陆熠磊
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 铜锌锡硫 磁控溅射 原位退火 太阳电池
• 年，卷（期）: 2017,（22）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、力学和热学性质
• 页码范围: 250-256
• 页数: 7页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.226801

摘要

采用衬底加热溅射铜锌锡硫(CZTS)四元化合物单靶制备CZTS薄膜,并研究原位退火对制备薄膜的影响.结果表明:在溅射结束后快速升温并保持一段时间,所得到的样品相比于未原位退火的CZTS薄膜结晶质量更好,且表面更平整致密;原位退火后的CZTS薄膜太阳电池性能参数也相应地有所提升,其开路电压(Voc)为575 mV,短路电流密度(Jsc)为8.32 mA/cm2,光电转换效率达到1.82％.