小型化MEMS高通滤波器研究

• 作者: 朱健 朱锋 郁元卫 陶子文
• 来源期刊: 自动化与仪器仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 高通滤波器 立体布线 MEMS
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 63-65
• 页数: 3页
• 分类号: TN713+.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.1001-9227.2017.08.065

摘要

介绍了一种小型高性能的高通滤波器,该高通滤波器利用两层硅片来实现悬置带线的结构,采用立体布线和通孔的方式来接地,运用HFSS三维电磁场仿真软件设计出了一款截止频率为7.6GHz的MEMS高通滤波器,运用MEMS工艺在两层硅衬底上进行了样品的研制.样品取得了良好的测试结果,其中通带内的插入损耗小于1.2dB,通带回波损耗小于10.9dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健		43	318	11.0	16.0
3	朱锋		6	15	2.0	3.0
6	郁元卫		20	101	6.0	9.0
10	陶子文		1	1	1.0	1.0