G2.5 ODF线前工序设备自主开发浅析

• 作者: 闫俊伟 高浩然
• 来源期刊: 中国设备工程
• 学科: 经济
• 关键词: ODF线 前工序设备 三菱PLC 自主开发
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 工艺与技术
• 页码范围: 101-102
• 页数: 2页
• 分类号: F426.63
• 字数: 2332字
• 语种: 中文

摘要

本项目利用闲置的Loader单元、清洗单元、HPCP单元等三个独立单元,通过改造升级构建成ODF线前工序IN-Line设备包括Indexer、清洗单元、HP/CP单元,全套设备采用三菱PLC及三菱HMI控制,经过总体方案设计、功能开发、PLC及触摸屏程序开发、Interface信号设计、调试等,实现ODF工艺需求基板的加载、清洗、HPCP功能.并与新购的ODF线主体设备对接调试,共同构成ODF In-Line线,满足实验需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫俊伟		1	0	0.0	0.0
2	高浩然		1	0	0.0	0.0