脉冲磁控溅射法制备石英晶体谐振器分析

• 作者: 张玉
• 来源期刊: 数字化用户
• 关键词: 脉冲磁控溅射法 石英晶体 谐振器 制备
• 年，卷（期）: 2017,（38）
• 所属期刊栏目: 工程技术
• 页码范围: 87
• 页数: 1页
• 字数: 1909字
• 语种: 中文

摘要

石英晶体谐振器是一种具备高频率稳定度的元器件,通常被用来对频率做出基准以及控制,其在一些科研设备以及军用通信装备当中占据着非常重要的地位,在一些民用设备方面也有较为广泛的应用.石英晶体谐振器的制造过程中所应用的制造工艺会对谐振器的性能形成非常大的影响,所以对其生产加工工艺的改进具有非常重要的现实意义.本文首先对石英晶体的性质以及石英晶体谐振器的结构进行了介绍,然后探讨了利用脉冲磁控溅射法制备石英晶体谐振器铝电极的具体方法.