腐蚀工艺在石英晶体谐振器生产过程中的应用研究

• 作者: 张玉
• 来源期刊: 数字化用户
• 关键词: 石英晶体谐振器 晶片腐蚀 腐蚀方法
• 年，卷（期）: 2017,（39）
• 所属期刊栏目: 综合论坛
• 页码范围: 257
• 页数: 1页
• 字数: 1936字
• 语种: 中文

摘要

在石英晶体谐振器的生产制造过程当中,晶片腐蚀是其中非常重要的一道工序.如果腐蚀处理所使用的工艺参数不同,会对晶体谐振器相关的性能和参数形成不同程度的影响,主要包括腐蚀量、腐蚀液体温度、腐蚀方法等.本文首先分析了石英晶体谐振器生产过程当中的腐蚀方法及其原理,然后探讨了对腐蚀形成影响的主要因素,继而讨论了在腐蚀过程当中需要注意的事项,最后总结了腐蚀处理给晶体参数形成的影响.