等离子体浸没离子注入介质材料鞘层演化规律

• 作者: 朱文艳
• 来源期刊: 电子测试
• 关键词: 等离子体浸没离子注入 冷流体力学模型 鞘层 数值模拟
• 年，卷（期）: 2017,（22）
• 所属期刊栏目: 理论与算法
• 页码范围: 34-35
• 页数: 2页
• 字数: 2616字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8519.2017.22.015

摘要

等离子体浸没离子注入(Plasma-immersion-ion-implantation,简称PIII)已被广泛应用于金属、半导体以及绝缘介质材料改性等领域.通过一维流体力学模型,利用C语言实现编程,对一维平面介质靶鞘层特性进行了数值模拟,得到了鞘层的演化规律,模拟的结果可以为优化实际的工艺参数提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱文艳		8	0	0.0	0.0