砷化氢尾气处理装置设计

• 作者: 王旭
• 来源期刊: 商品与质量
• 学科: 地球科学
• 关键词: 砷化氢 尾气处理 氧化铜
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 工业技术
• 页码范围: 221-222
• 页数: 2页
• 分类号: X770
• 字数: 1620字
• 语种: 中文

摘要

砷化氢尾气处理装置主要用于掺杂、外延、离子注入、化学气相沉积和砷化稼晶体生长等工艺过程,然而由于它是一种剧毒性气体,8h工作区内空气中的最高允许含量仅为5/10-8,因此在其生产和使用过程中必须进行严格的尾气处理.本文对于砷化氢尾气处理装置设计进行了探讨,希望为以后的具体工作起到实际的参考作用.