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PECVD的原理与故障解析
PECVD的原理与故障解析
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摘要：
文章通过下文阐述了PECVD工作原理及设备的结构情况,按照多年的工作检验,对PECVD设备的常见故障进行了分析,并且制定了相应的解决对策.
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故障解析
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期刊影响力
数字化用户
主办单位：
数字化用户杂志社
出版周期：
周刊
ISSN：
1009-0843
CN：
51-1567/TN
开本：
16开
出版地：
四川省成都市
邮发代号：
创刊时间：
1999
语种：
chi
出版文献量（篇）
46696
总下载数（次）
249
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7926
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