炉管工艺制程中第一片产品片常见问题分析

• 作者: 朱立平 翟志刚 高文文
• 来源期刊: 中国科技投资
• 关键词: 炉管 第一片产品 厚度 应力
• 年，卷（期）: 2017,（32）
• 所属期刊栏目: 机械与工艺
• 页码范围: 283
• 页数: 1页
• 字数: 770字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5811.2017.32.267

摘要

炉管工艺在薄膜生长和退火制程中,第一片产品片常出现厚度及应力与其他片不同的问题.本文分析了此类问题的常见的原因及改善措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翟志刚		2	0	0.0	0.0
2	朱立平		2	0	0.0	0.0
3	高文文		2	0	0.0	0.0