实验室石墨烯的干法转移和数字化层数判定

• 作者: 吴天如 王浩敏 邓涛 陈吉
• 来源期刊: 中国科技投资
• 关键词: 石墨烯 干法转移工艺 数字化层数判定
• 年，卷（期）: 2017,（31）
• 所属期刊栏目: 专题研究
• 页码范围: 9,109
• 页数: 2页
• 字数: 1886字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5811.2017.31.006

摘要

近年来,在金属衬底上生长的石墨烯技术日趋成熟,但是想要将其使用到纳米科学和低维材料制备技术领域,必须将石墨烯转移.传统的转移工艺通过腐蚀金属衬底,不可避免的降低石墨烯的本征特性,减少了石墨烯的有效使用率,同时对转移后的石墨烯层数传统判断方式也耗时耗量.因此,优化转移工艺和快速判定层数是需要迫切解决的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈吉	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	15	218	6.0	14.0
2	王浩敏	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	2	0	0.0	0.0
3	吴天如	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	3	1	1.0	1.0
4	邓涛	上海交通大学中国科学院	6	2	1.0	1.0