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集成电路制造行业挥发性有机物(VOCs)减排措施研究
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摘要：
研究集成电路制造行业主要的挥发性有机物(VOCs)排放源及VOCs主要成分,并针对VOCs源头、过程控制与末端治理,提出切实有效的减排措施建议,为集成电路生产企业VOCs治理研究提供参考.
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研究主题发展历程
节点文献
集成电路制造行业
挥发性有机物(VOCs)
源头控制
生产过程控制
末端治理控制
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技风
主办单位：
河北省科技咨询服务中心
出版周期：
旬刊
ISSN：
1671-7341
CN：
13-1322/N
开本：
16开
出版地：
河北省石家庄市
邮发代号：
创刊时间：
1988
语种：
chi
出版文献量（篇）
77375
总下载数（次）
264
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