二氧化硅薄膜纳米力性质研究

• 作者: 李仕杰 翟毅 聂晓梦
• 来源期刊: 数字化用户
• 关键词: 纳米压痕 二氧化硅薄膜 硬度 弹性模量
• 年，卷（期）: 2017,（47）
• 所属期刊栏目: 综合论坛
• 页码范围: 235,239
• 页数: 2页
• 字数: 3679字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0843.2017.47.221

摘要

利用纳米压痕仪测量了硅基二氧化硅薄膜的纳米力学性质,分析得到二氧化硅薄膜厚度约1100nm;并利用连续刚度测量法得到不同压入深度二氧化硅硬度及弹性模量随压深的变化关系,分析得到热氧化生长的二氧化硅薄膜成膜质量较好,且二氧化硅薄膜硬度约9GPa,弹性模量约75-80GPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翟毅	内蒙古工业大学理学院	4	0	0.0	0.0
2	聂晓梦	内蒙古工业大学理学院	4	65	2.0	4.0
3	李仕杰	内蒙古工业大学理学院	1	0	0.0	0.0