扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)由于其具有较高的放大倍数、很大的景深和试样制备简单等优点,在实验教学和科学研究各个领域应用广泛.扫描电子显微镜结合X射线能谱分析,在观察物质形貌的同时,可以对物质微区的成分进行分析.观察扫描电子显微镜的最终目的是得到清晰的照片,而样品自身的情况和测样前的准备情况是关键.本文以VEGA3 SBH型钨灯丝扫描电子显微镜为例,从样品自身的要求和样品测试前的准备方法等几个方面入手,为扫描电子显微镜相关工作人员提供一些技术参考.