邹旭东：微机电高精度“传感人”

• 作者: 汲晓奇
• 来源期刊: 科学中国人
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 传感技术 高精度 国家重点实验室 惯性传感器 微机电传感器 制造工艺流程 学术成果
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 页码范围: 28-31,F0002,1
• 页数: 6页
• 分类号: TP212

摘要

邹旭东，中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室特聘研究员。长期从事微机电系统（MEMS）技术及高精度惯性传感器的科研和产品开发工作．熟悉、掌握多种微机电传感器的工作原理、设计优化方法、制造工艺流程和传感器的集成与测试等关键技术．拥有自主、完整的微机电传感器结构芯片设计、工艺制造、电路优化等方面的学术成果、创新产品成果和发明技术专利．获得了国际学术同行和国际一流企业合作方的高度认可。