微纳米尺度金属导电材料热疲劳研究进展

• 作者: 张广平 张滨 罗雪梅 陈红蕾
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金属薄膜 互连线 交流电 热疲劳 尺寸效应
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 页码范围: 357-366
• 页数: 10页
• 分类号: TG111.8
• 语种: 中文
• DOI: 10.11900/0412.1961.2017.00371

摘要

世界已逐渐进入以物联网和智能制造为主导的工业4.0时代,特别是人工智能和大数据处理的强烈需求,微纳米尺度器件的研发制造及广泛使用的日趋活跃使得小尺度材料得到广泛关注.由于这些材料的几何尺度和微观结构尺度的约束效应,其热疲劳损伤行为与块体材料不同.同时,材料尺度由微米向纳米量级的转变也会引起损伤机制的转变,使材料表现出不同的损伤形式,产生显著的尺寸效应.本文综述了近年来国内外开展的有关金属薄膜/线的热疲劳实验方法、热疲劳损伤行为及演化和热疲劳影响因素的研究进展,探讨了微纳米尺度金属材料热疲劳的微观机制和尺寸效应,并对这一领域的研究前景进行展望.