液态金属汞在硅片表面的润湿行为研究

• 作者: 曾国英 李中杨 马国鹭
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子刻蚀 表面粗糙度 滴液体积 接触角 润湿行为
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 817-820
• 页数: 4页
• 分类号: O485
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.09.14

摘要

针对常温下的液体在固体表面的润湿行为研究.以液态金属汞为研究对象,采用真空等离子体刻蚀工艺制备不同表面形貌的硅片,研究不同硅片的润湿行为,并探究了液滴体积对润湿性的影响.利用金相电子显微镜、白光干涉三维形貌仪以及接触角测量仪分别对不同硅片的表面形貌、表面粗糙度以及润湿行为进行了测量与表征.结果表明:当液滴体积相同时,随硅片表面粗糙度Sa增大,接触角增大;当液滴体积为1μL,表面粗糙度为257.01 μm时,测得静态接触角达到最大,为158.3°;而在同一形貌的硅片表面,当液滴体积由1增加到4μL时,硅片表面的接触角呈现逐渐减小的趋势,在致密的网状结构硅片表面,接触角减小的幅度最大,达到11.6°.为今后研究汞在不用材料表面的润湿行为具有一定的参考意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾国英	西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室	73	379	11.0	15.0
2	马国鹭	西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室	25	123	6.0	10.0
3	李中杨	西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室	4	6	1.0	2.0