飞秒激光工艺参数对合金DD6气膜孔加工的影响

• 作者: 张朝楚 戴彭丹 朱超 熊新红
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 激光制孔 镍基单晶DD6 离焦量
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 光电系统
• 页码范围: 440-443
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.03.029

摘要

采用扫描电子显微镜(SEM)观察不同工艺参数下飞秒激光加工镍基单晶合金DD6气膜孔的形貌,主要考虑不同离焦量、不同单脉冲能量下气膜孔的孔径、锥度和圆度误差.实验结果表明:当离焦量由零转为正或负时,上孔径和锥度会增大,而下孔径则会减小;当离焦量由负变正时,圆度误差变大;当单脉冲能量逐渐增大,孔直径越大,锥度则会减小,圆度误差逐渐增大.当加工时间为30 min,离焦量为0,单脉冲能量为100 μJ时,孔锥度达到最佳值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊新红	武汉理工大学物流工程学院	9	13	1.0	3.0
2	张朝楚	武汉理工大学物流工程学院	1	1	1.0	1.0
3	戴彭丹	武汉理工大学物流工程学院	2	1	1.0	1.0
4	朱超	武汉理工大学物流工程学院	6	7	1.0	2.0