基于两步广义相移干涉术的微纳形变测量

• 作者: 刘雨璇 张会 张志伟 张格涛 徐先锋 毕泽坤 王加栋 白芬
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 两步广义相移干涉术 物光波前重建 微小形变测量
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 252-256
• 页数: 5页
• 分类号: O438.1
• 语种: 中文

摘要

基于两步广义相移干涉术,设计微小形变测量实验装置,介绍工作原理和测量方法.采用同轴相移数字全息正交光路,记录形变前后物光、参光、干涉图强度,以两步广义相移干涉算法为基础,恢复原物光相位和表面形貌信息,相减后得到表面形变量.实验结果表明,相对于现有表面微小形变测量方法,提出得方法能够精密测量物体表面微小形变量,方法简单易行,精度可达纳米量级.