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红外激光刻蚀微热管复合沟槽的工艺研究
红外激光刻蚀微热管复合沟槽的工艺研究
作者:
李成彬
杨旸
胡伟
谢小柱
魏昕
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
激光技术
激光刻蚀
复合沟槽
影响规律
最大毛细压力
微热管
摘要:
为了得到红外激光在微热管铜基板表面刻蚀复合沟槽的过程中,不同激光工艺参量(激光重复频率、扫描速率、扫描次数)对复合沟槽尺寸和形貌的影响规律,采用单因素实验法进行了红外激光刻蚀微热管复合沟槽的工艺实验研究,确定了使用1064nm波长红外光纤激光器刻蚀微热管复合沟槽的合理工艺参量.结果表明,当激光重复频率为40kHz、扫描速率为150mm/s、扫描次数为25次时,红外激光刻蚀的复合沟槽能为微热管工质的回流提供较大的毛细压力.该研究对提高沟槽式微热管的传热性能具有参考意义.
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制造方法
激光刻蚀2μm铝/聚酰亚胺(PI)材料体系技术研究
激光束刻蚀
铝/聚酰亚胺
图形形貌
扫描速度
应力
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
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期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
红外激光刻蚀微热管复合沟槽的工艺研究
来源期刊
激光技术
学科
工学
关键词
激光技术
激光刻蚀
复合沟槽
影响规律
最大毛细压力
微热管
年,卷(期)
2018,(2)
所属期刊栏目
激光与光电子技术应用
研究方向
页码范围
276-281
页数
6页
分类号
TN249
字数
4287字
语种
中文
DOI
10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.02.026
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
谢小柱
广东工业大学机电工程学院
73
422
11.0
16.0
2
胡伟
广东工业大学机电工程学院
57
313
10.0
14.0
3
魏昕
广东工业大学机电工程学院
111
782
15.0
22.0
4
杨旸
广东工业大学机电工程学院
7
7
2.0
2.0
5
李成彬
广东工业大学机电工程学院
3
4
1.0
2.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
引文网络
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共引文献
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节点文献
引证文献
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同被引文献
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二级引证文献(0)
2018(1)
引证文献(1)
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引证文献(0)
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研究主题发展历程
节点文献
激光技术
激光刻蚀
复合沟槽
影响规律
最大毛细压力
微热管
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
激光技术
主办单位:
西南技术物理研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1001-3806
CN:
51-1125/TN
开本:
大16开
出版地:
四川省成都市238信箱
邮发代号:
62-74
创刊时间:
1971
语种:
chi
出版文献量(篇)
4090
总下载数(次)
10
总被引数(次)
25972
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