薄膜工艺制造误差对电路性能的影响

• 作者: 刘巍巍 梁广华 贾世旺 邢伯仑
• 来源期刊: 无线电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 误差 正态分布 回归方程 滤波器
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 电磁场与微波
• 页码范围: 138-143
• 页数: 6页
• 分类号: TN451
• 字数: 4436字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-3106.2018.02.12

摘要

薄膜工艺具有加工高精度图形的能力,广泛应用于微波毫米波电路中.在设计薄膜滤波器等无源电路时,为了降低分析、 计算难度,常采用理想模型,未考虑工艺制造误差及材料特性等影响,造成了实测值与计算结果有一定偏差.为了提高薄膜电路设计的准确性,对设备、 人员相对稳定的薄膜工艺线各主要工序制造误差进行分析,通过大量实测数据,统计出了该工艺线制造误差范围,常规线宽偏差±4.5μm以内,关键线宽可控制在±2.0μm以内,线条厚度误差±20％以内.根据工艺制造能力,构建电路的三维多参数仿真模型,与理想模型进行对照,给出了薄膜工艺制造误差对滤波器电性能的影响,为今后准确设计滤波器等无源电路提供了有力的指导.应用结果表明,多参数模型与实测结果更为接近.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾世旺	中国电子科技集团公司第五十四研究所	11	49	4.0	6.0
2	梁广华	中国电子科技集团公司第五十四研究所	6	17	2.0	4.0
3	刘巍巍	中国电子科技集团公司第五十四研究所	4	8	2.0	2.0
4	邢伯仑		1	2	1.0	1.0