高透射深宽截止双通带荧光滤光片设计与PARMS镀制

• 作者: 吕少波 姜超 李明华 王瑞生 穆佳丽 胡雯雯 赵帅锋
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: PARMS 直接光控 双通带滤光片
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2018.02.03

摘要

以Nb2O5和SiO2为光学镀膜材料设计了可见光区双通带BP561nm&BP687nm超多层膜系干涉滤光片.采用直接光控和速率控制混合的膜厚监控方案,制造工艺采用OMS Simulator设计并模拟镀膜过程,模拟膜厚误差优于±0.1％,并在PARMS镀膜机上进行镀制.制造光谱结果:双通带滤光片波长定位精度均小于±2nm,峰值透过率高于95％,截止区300-950nm背景优于OD6,完全满足荧光检测的成像需求.