X射线双晶衍射在半导体材料及结构分析中的应用

• 作者: 关志强 唐吉龙 房丹 方铉 牛守柱 王晓华 王登魁 贾慧民 魏志鹏
• 来源期刊: 材料科学
• 学科: 工学
• 关键词: X射线双晶衍射 晶体质量 超晶格 应变
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 页码范围: 37-44
• 页数: 8页
• 分类号: TN3

摘要

X射线双晶衍射是半导体材料及结构的重要分析手段,广泛应用于半导体薄膜,超晶格及量子阱等材料和器件的性能表征方面。文章综述了X射线双晶衍射在分析薄膜晶体质量,合金组分,超晶格膜厚,应变中的应用,对于半导体激光器而言,这些参数的精确测定,对指导高质量器件的开发与研制具有重要意义。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐吉龙	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	28	104	4.0	10.0
2	方铉	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	37	60	4.0	6.0
3	魏志鹏	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	44	104	5.0	8.0
4	王晓华	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	54	156	7.0	9.0
5	贾慧民	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	7	0	0.0	0.0
6	王登魁	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	18	0	0.0	0.0
7	房丹	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	25	18	3.0	3.0
8	牛守柱	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	2	0	0.0	0.0
9	关志强	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	1	0	0.0	0.0