高密度热解氮化硼材料的制备及性能表征

• 作者: 刘汝强 吴思华 张佳伟 王殿春 赵旭荣
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 热解氮化硼 电真空 纯度 晶体结构 热导率 抗弯强度
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 氮化物陶瓷和DBC、AMB技术专辑
• 页码范围: 26-28
• 页数: 3页
• 分类号: TQ174.75
• 字数: 1748字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2018.04.06

摘要

本文采用化学气相沉积法(CVD)制备热解氮化硼,通过调整CVD温度、CVD压力,获得了密度大于2.17 g/cm3、金属杂质含量小于10×10-6、层结构均匀、室温热导率达90 W/m·K的高密度热解氮化硼板材.测试结果表明,不同密度热解氮化硼材料的性能差异较大,高密度热解氮化硼产品具有更加优越的理化性质.