LTCC基板砂轮划片工艺研究

• 作者: 张鹏 李俊 陈晓勇
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: LTCC基板 砂轮划片 背面崩边 切割面裂纹
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 微组装技术SMT PCB
• 页码范围: 40-42
• 页数: 3页
• 分类号: TN605
• 字数: 2385字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2018.01.012

摘要

LTCC(低温共烧陶瓷)是近几年兴起的一种三维集成技术,凭借其优异的高频特性、高可靠性和小型化等优势,迅速成为雷达探测和电子对抗等领域微波组件的首选方案.砂轮划片作为LTCC制造工艺的一部分,相比激光切割工艺有着自身的优势.从影响砂轮划片工艺的几个关键因素出发,通过理论分析和实验对比,优化砂轮划片工艺.有效地解决了划切基板背面崩边和切割面裂纹问题,切实提高了砂轮划片的合格率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李俊	中国电子科技集团公司第二研究所	38	117	4.0	9.0
2	张鹏	中国电子科技集团公司第二研究所	60	249	8.0	14.0
3	陈晓勇	中国电子科技集团公司第二研究所	5	5	1.0	2.0