基于PZT纳米纤维柔性压力传感器的研制

• 作者: 刘宁 刘扬 谭晓兰 鲍娜娜
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 静电纺丝 柔性压力传感器 锆钛酸铅(PZT) 柔性基底 纳米纤维 敏感材料
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 733-737,745
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.10.006

摘要

设计制作了一种柔性压力传感器,以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)作为柔性基底,用静电纺丝技术制备的锆钛酸铅(PZT)纳米纤维作为敏感材料.将PZT纳米纤维铺设到带有氧化铟锡(ITO)叉指电极的PET柔性基底上,再将聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜覆盖在PZT纳米纤维上制成柔性压力传感器.利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分别对PZT纳米纤维的晶体结构和形貌进行了袁征,并通过测试系统测试了传感器的性能.测试结果表明:在20～60 kPa内,随着压强的增大,传感器的开路电压随之线性增大,最大约为10 V,其中灵敏度约为180 mV/kPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭晓兰	北方工业大学机械与材料工程学院	38	251	8.0	15.0
2	刘宁	北方工业大学机械与材料工程学院	3	10	2.0	3.0
3	鲍娜娜	北方工业大学机械与材料工程学院	3	7	1.0	2.0
4	刘扬	北方工业大学机械与材料工程学院	3	7	1.0	2.0