复杂腔体件表面磁控溅射镀膜关键技术的研究

• 作者: 王德山 胡兵兵 陈尤旭
• 来源期刊: 现代机械
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 复杂型腔 绿色环保 表面镀膜 关键技术
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 设计、研究、分析
• 页码范围: 80-83
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2265字
• 语种: 中文

摘要

多轮廓型腔结构件具有复杂的内腔,采用化学镀膜方法在对工件内腔镀膜过程中存在膜基结合力差、薄膜厚度不均匀致密、内腔死角无法镀膜以及环境污染等诸多问题.磁控溅射镀膜技术作为一种新型镀膜工艺,其镀膜均匀致密且绿色无污染,能良好地应用于多轮廓型腔结构件中.论述了不同磁控溅射镀膜方法的特点,以及磁控溅射镀膜在复杂型腔结构件中的关键技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王德山	苏州大学机电工程学院	23	27	3.0	4.0
2	胡兵兵	苏州大学机电工程学院	4	8	2.0	2.0
3	陈尤旭	苏州大学机电工程学院	6	0	0.0	0.0