硅各向异性腐蚀的仿真模型研究

• 作者: 严一峰 方玉明
• 来源期刊: 电子科技
• 学科: 工学
• 关键词: 硅 各向异性腐蚀 仿真方法 模拟精度和模拟效率
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 页码范围: 56-60
• 页数: 5页
• 分类号: TN773
• 字数: 3741字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16180/j.cnki.issn1007-7820.2018.02.015

摘要

为了在硅衬底上加工出多样的微结构,满足微机电系统的发展,硅各向异性腐蚀的仿真模型被大量研究.从衬底模型、腐蚀规则的制定、腐蚀速率、时间步长的角度出发,介绍了这些要素对几何模型和原子模型所包含多种仿真方法的模拟精度和模拟效率的影响,归纳了各种仿真方法的适用场合和特点,并为提出更优化的方案提供了方向.其中连续CA方法和MC方法揭示了腐蚀的本质,模拟精度高,三维处理能力强,被广泛应用.而原子模型算法简单,运算速度快,在对结构简单的MEMS仿真中也得到应用.所有仿真方法都可在权衡精度和效率的利弊后做出改进.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方玉明	南京邮电大学电子科学与工程学院	52	140	6.0	8.0
2	严一峰	南京邮电大学电子科学与工程学院	1	0	0.0	0.0