压电器件的精密超声复合电解加工技术

• 作者: 孙继欣 张宇 朱永伟
• 来源期刊: 陕西师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 压电器件 超声复合电解加工 ANSYS分析 组合加工
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 页码范围: 32-38
• 页数: 7页
• 分类号: O426.4
• 字数: 2805字
• 语种: 中文

摘要

设计了用于压电器件精密加工的超声复合电解加工系统,采用组合电加工技术制作工具电极.运用ANSYS软件对超声振动系统进行参数化建模,并用其多物理场耦合功能进行动力学分析,得出超声系统振动特性参数.通过激光微位移传感器进行振动特性参数检测,验证超声振动系统设计及ANSYS模型分析的正确、可靠性.进一步采用超声及其复合电解组合加工方法,对表面镀膜压电器件进行批量加工试验.结果表明:本方法在满足加工精度的基础上,能够大幅提高加工效率,并降低加工成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱永伟	扬州大学机械工程学院	59	442	12.0	18.0
2	张宇	扬州大学机械工程学院	57	239	8.0	13.0
3	孙继欣	扬州大学机械工程学院	3	6	1.0	2.0