一种基于微波环形谐振器的无线无源气体传感器

• 作者: 卫凯龙 康文芳 熊继军 董和磊 谭秋林
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波环形谐振器 聚苯胺 气敏特性 谐振频率 氨气
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 729-732,761
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.10.005

摘要

介绍了一种基于微波环形谐振器的氨气监测的气体传感器,通过天线测试其谐振频率随气体体积分数的变化完成感测操作.环形谐振器是通过丝网印刷工艺将其制备在氧化铝基底上,采用碳纳米管与聚苯胺杂质作为气敏材料,并把制备好的气敏材料旋涂在环形谐振器的极板电容间.制备好的气体传感器在氨气中进行测试,实现了在密闭环境下非接触测量,并且分析了在室温下氨气气体体积分数对传感器谐振频率变化及响应恢复时间的影响.结果表明气体体积分数为10-3时,传感器的灵敏度为11.5 MHz.