CCD倾斜角度对激光衍射对刀精度的影响

• 作者: 史国权 张玉石 王金雨 石广丰
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 激光衍射 一级衍射条纹 CCD 像面倾斜
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 光电系统
• 页码范围: 256-259
• 页数: 4页
• 分类号: TH16
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.02.024

摘要

激光衍射对刀是通过检测两个一级衍射条纹峰值点的间距来进行对刀间隙测量的一种方法.测量过程中众多工艺参数的调整会对测量结果的精度产生重要影响.由于CCD装夹误差的存在,CCD像面实际安装位置相对于系统理想光轴法平面不可避免地会发生倾斜,倾斜量的存在会导致检测结果不准确.为了研究CCD倾斜角度对衍射对刀精度的影响,建立了含有CCD倾斜角度的激光衍射光强模型和一级次极大峰值点间距误差计算模型,并提出了基于一级次极大峰值点间距的角度校正方法.通过实验确定了CCD像面最佳倾斜角度的工艺调整范围,为有效提高激光衍射对刀的精度提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石广丰	长春理工大学机电工程学院	69	202	6.0	11.0
2	史国权	长春理工大学机电工程学院	88	340	9.0	15.0
3	张玉石	长春理工大学机电工程学院	7	6	1.0	2.0
4	王金雨	长春理工大学机电工程学院	3	0	0.0	0.0