衬底温度对FeCrCoNiMn高熵合金氮化物薄膜组织结构和电性能的影响

• 作者: 张国庆 杨克蒋 汪亮兵 罗永春
• 来源期刊: 金属功能材料
• 关键词: 反应磁控溅射 高熵合金薄膜 氮化物 导电性
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 页码范围: 36-42
• 页数: 7页
• 语种: 中文
• DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1005-8192.2017066

摘要

采用射频反应磁控溅射法在Si(100)衬底上制备出纳米晶高熵合金FeCrCoNiMn氮化物薄膜,结合场发射扫描电子显微镜(FESEM)、电子显微探针(EPMA)、X射线光电子能谱分析仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)及四点探针(FPP)研究了衬底温度(40、300、500℃)对沉积薄膜的表面形貌、化学组成、微观结构和导电性能的影响.结果表明,衬底温度对高熵合金FeCrCoNiMn-N薄膜的形貌、组织结构和导电性能有显著影响.随衬底温度的升高,薄膜的表面粗糙度和颗粒/晶粒尺寸增大;与氮反应沉积后,含氮高熵合金薄膜中形成了Mn3 N2、MnN、Cr2N和CrN金属氮化物,而Fe、Ni和Co元素则以Fe-Ni-Co合金相形式存在.不含氮合金薄膜其电阻率高达131.78mΩ·cm,加入氮沉积后,随衬底温度的增加,含氮薄膜的电阻率逐渐减小(6.14～0.43mΩ·cm),含氮合金薄膜的电阻率明显小于合金靶材的沉积膜,衬底温度500℃时薄膜的电阻率达到最小值0.43 mΩ·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗永春		125	692	15.0	19.0
2	张国庆		19	69	5.0	7.0
3	杨克蒋		2	0	0.0	0.0
4	汪亮兵		2	0	0.0	0.0