EB-PVD设备灯丝加热电源的研制

• 作者: 姜春竹 张伟 彭勇 桑兴华 许海鹰 邢一思
• 来源期刊: 电路与系统
• 学科: 工学
• 关键词: EB-PVD设备 灯丝加热电源 变压器
• 年，卷（期）: dlyxt_2018,（3）
• 页码范围: 67-74
• 页数: 8页
• 分类号: TM4

摘要

稳定可靠的灯丝加热电源是保障EB-PVD设备长期稳定工作的关键部件之一,采用三级AC-DC拓扑、低漏感的灯丝变压器、双闭环控制策略设计制造了灯丝加热电源。并将所研制灯丝加热电源与EB-PVD设备其它部件等进行系统集成,组成EB-PVD试验装置,对所研制灯丝加热变压器输入电压波形和最大输出电流进行检测,灯丝加热电流达到150 A以上;并且在此装置上测试了灯丝加热电流与输出电子束流的对应关系。试验结果表明:所研制的灯丝加热电源能够满足EB-PVD设备工作需求。