反应共蒸发法REBa2Cu3O7-δ薄膜的异位成相过程研究

• 作者: 刘志勇 曲兰雪 曾志刚 白传易 罗志永 蔡传兵 鲁玉明
• 来源期刊: 低温物理学报
• 关键词: 异位法 涂层导体 相转变
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 页码范围: 46-52
• 页数: 7页
• 语种: 中文

摘要

REBa2Cu3O7-δ高温超导涂层导体是当前液氮温区载流能力最强的超导材料,它在大科学装置、军事国防、电力传输、磁悬浮列车等领域具有广泛应用潜力.按照薄膜沉积方式和成相步骤,超导层的制备技术路线可分为原位法(In-situ)和异位法(Ex-situ).本文将对异位法中的反应共蒸发法(RCE Reaction Co-evaporation)制备RE-BCO薄膜的物相形成规律进行研究,明确超导薄膜及其涂层导体在纳米级前驱组分、晶化温度调制下而形成的不同于块体体系的物相关系、织构生长特征.通过不同氧处理条件薄膜的组分和结构表征,获得了成相过程特征,发现较短的氧处理时间,“富稀土元素”组分等工艺设计有助于薄膜超导成相和c轴织构的形成.