烧结温度对Nb2O5-x靶材性能的影响

• 作者: 唐仁衡 张四奇 彭能 肖世文 高远
• 来源期刊: 材料研究与应用
• 关键词: 透明导电薄膜 靶材 烧结温度 电阻率
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 28-31
• 页数: 4页
• 分类号: TM283
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9981.2018.01.006

摘要

采用真空烧结法制备 Nb2O5-x靶材,研究了烧结温度对靶材的相结构、脱氧率、密度以及电阻率的影响.控制靶材的真空烧结温度,可以制备出综合性能优良的 Nb2O5-x靶材.实验结果表明:在真空烧结温度为1200 ℃时,靶材的非化学计量比为 Nb2O4.59,其各项性能指标最佳:靶材的电阻率2.32 mΩ· cm、密度4.85 g/cm3、脱氧量2.47 %.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高远	广东省稀有金属研究所广东省稀土开发及应用重点实验室	3	2	1.0	1.0
2	唐仁衡	广东省稀有金属研究所广东省稀土开发及应用重点实验室	13	9	2.0	2.0
3	张四奇	广东省稀有金属研究所广东省稀土开发及应用重点实验室	4	17	2.0	4.0
4	彭能	广东省稀有金属研究所广东省稀土开发及应用重点实验室	3	6	1.0	2.0
5	肖世文		1	0	0.0	0.0