溶液法制备金属氧化物薄膜晶体管的研究进展

• 作者: 刘玉荣 吴宝仔 廖荣
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜晶体管 金属氧化物半导体 溶液法 电学性能 优化方法
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望
• 页码范围: 321-334,380
• 页数: 15页
• 分类号: TN321.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2018.05.001

摘要

金属氧化物薄膜晶体管(MOTFT)因具有迁移率高、可见光透明、工艺简单、可低温制备等优势,在高性能平板显示、可穿戴柔性电子、集成传感器等领域具有广阔的应用前景.主要回顾了溶液法制备MOTFT的研究进展.首先介绍了溶液法制备MOTFT相对于其他方法的优势,如工艺简单、制作成本低、易掺杂;然后阐述了浸涂法、喷雾法、旋涂法、印刷法加工工艺的特点及优缺点,比较了不同溶液加工工艺所制备MOTFT的电学性能;最后指出了目前溶液法制备MOTFT存在的问题,并从有源层材料与结构、栅介质层材料与界面、退火与预处理3个方面详细地讨论了溶液法制备的优化方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘玉荣	华南理工大学电子与信息学院	31	82	6.0	6.0
2	廖荣	华南理工大学电子与信息学院	11	18	2.0	3.0
3	吴宝仔	华南理工大学电子与信息学院	2	2	1.0	1.0