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GeTe相变薄膜的结构及光学性能研究
GeTe相变薄膜的结构及光学性能研究
作者:
卢红兵
卫芬芬
张敏
田永红
辛霞
陈储君
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
GeTe
脉冲激光沉积
相变
光学性能
摘要:
相变材料可迅速地实现晶态与非晶态之间的相互转换, 在相变存储领域具有重要的应用.本文用脉冲激光沉积 (PLD) 法在Si衬底上制备了高质量的GeTe相变薄膜, 并对不同温度下退火的GeTe薄膜进行了结构和光学反射率的表征.实验结果表明, 室温沉积的GeTe薄膜为非晶态结构, 薄膜的结晶化温度约为250℃.随着退火温度的增加, (202) 衍射峰位逐渐向低角方向移动, (202) 面间距逐渐增加, 这可能与退火薄膜中存在大的压应力有关.薄膜的光学反射率测试表明我们制备薄膜的晶态和非晶态具有高的反射率对比度.以上结果表明PLD法制备的GeTe薄膜在光学相变存储领域具有较好的应用潜能.
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文献信息
篇名
GeTe相变薄膜的结构及光学性能研究
来源期刊
低温物理学报
学科
关键词
GeTe
脉冲激光沉积
相变
光学性能
年,卷(期)
2018,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
1-5
页数
5页
分类号
字数
语种
中文
DOI
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单位
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1
张敏
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卫芬芬
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脉冲激光沉积
相变
光学性能
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研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
低温物理学报
主办单位:
中国科学技术大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1000-3258
CN:
34-1053/O4
开本:
大16开
出版地:
安徽省合肥市金寨路96号
邮发代号:
26-136
创刊时间:
1979
语种:
chi
出版文献量(篇)
1833
总下载数(次)
3
总被引数(次)
4241
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