集成电路制造的超洁净工程分析

• 作者: 李玲 秦建东
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路制造 晶圆厂 Fab 超洁净工厂
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TN402|F426.63
• 字数: 4418字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2018.01.015

摘要

洁净室工程始于业主新建厂房计划,在业主确定建厂计划后,会联系具有设计资质的设计商为工厂做整体设计方案,由于洁净室工程在厂房建设中处于重要地位,故在工程设计的过程中设计方会和业主反复沟通,确定洁净厂房的建造方案和技术标准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李玲	河南大学环境与规划学院	8	28	2.0	5.0
2	秦建东	河南大学环境与规划学院	1	2	1.0	1.0