钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
中国科学引文数据库
工程索引(美)
日本科学技术振兴机构数据库(日)
文摘杂志(俄)
科学文摘(英)
化学文摘(美)
中国科技论文统计与引文分析数据库
中文社会科学引文索引
科学引文索引(美)
中文核心期刊
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
工业技术期刊
\
航空航天期刊
\
航空材料学报期刊
\
薄膜应力测量方法及影响因素研究进展
薄膜应力测量方法及影响因素研究进展
作者:
刘伟明
张晓锋
李佳明
陈牧
韦友秀
颜悦
马一博
原文服务方:
航空材料学报
薄膜应力
应力测量
应力控制
基底曲率法
摘要:
随着薄膜电子器件的尺寸不断减小,薄膜应力成为薄膜器件失效的重要原因.薄膜应力不仅影响薄膜结构而且与薄膜光学、电学、力学等性质相关,因此,薄膜应力逐渐成为薄膜材料研究领域的热点之一.本文综述了薄膜应力的最新研究进展,对比分析了基底曲率法、X射线衍射法、拉曼光谱法等常见的薄膜应力检测方法,概括了薄膜成分比例、基底类型、磁控溅射工艺参数(溅射功率、工作压力、基底温度)和退火等影响薄膜应力的因素.发现基底曲率法适合测量绝大部分薄膜材料,而X射线衍射法、拉曼光谱法只适合测量具有特征峰的材料,纳米压痕法需与无应力样品作对比实验.在薄膜制备和退火过程中,薄膜应力一般发生压应力和张应力的转化,且多个工艺参数共同影响薄膜应力,适当调节参数可使薄膜应力达到最小值甚至无应力状态.最后,结合薄膜应力当前的研究现状提出了未来可能的研究方向,即寻找不同材料体系薄膜应力的精确测量方法以及薄膜应力检测过程中面临的检测范围问题.
免费获取
收藏
引用
分享
推荐文章
砂轮表面测量方法研究进展
砂轮
微观形貌
宏观轮廓
表面测量
磨削性能
地震应力降研究进展
应力降
定义
计算方法
影响因素
研究进展
光学薄膜参数测量方法研究进展
光学薄膜参数
反演
测量方法
薄膜应力测量研究现状
薄膜
应力
内容分析
文献信息
版权信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
薄膜应力测量方法及影响因素研究进展
来源期刊
航空材料学报
学科
关键词
薄膜应力
应力测量
应力控制
基底曲率法
年,卷(期)
2018,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
17-25
页数
9页
分类号
O369
字数
语种
中文
DOI
10.11868/j.issn.1005-5053.2017.000126
五维指标
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
版权信息
全文
全文.pdf
引文网络
引文网络
二级参考文献
(198)
共引文献
(62)
参考文献
(38)
节点文献
引证文献
(8)
同被引文献
(4)
二级引证文献
(0)
1909(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1966(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1972(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1973(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1978(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1982(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1983(3)
参考文献(1)
二级参考文献(2)
1987(3)
参考文献(1)
二级参考文献(2)
1989(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1990(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
1991(9)
参考文献(0)
二级参考文献(9)
1992(5)
参考文献(0)
二级参考文献(5)
1993(7)
参考文献(0)
二级参考文献(7)
1994(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
1995(5)
参考文献(0)
二级参考文献(5)
1996(7)
参考文献(0)
二级参考文献(7)
1997(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
1998(8)
参考文献(1)
二级参考文献(7)
1999(10)
参考文献(2)
二级参考文献(8)
2000(9)
参考文献(3)
二级参考文献(6)
2001(6)
参考文献(0)
二级参考文献(6)
2002(15)
参考文献(3)
二级参考文献(12)
2003(16)
参考文献(1)
二级参考文献(15)
2004(17)
参考文献(1)
二级参考文献(16)
2005(18)
参考文献(0)
二级参考文献(18)
2006(19)
参考文献(2)
二级参考文献(17)
2007(8)
参考文献(1)
二级参考文献(7)
2008(6)
参考文献(1)
二级参考文献(5)
2009(4)
参考文献(0)
二级参考文献(4)
2010(5)
参考文献(0)
二级参考文献(5)
2011(10)
参考文献(1)
二级参考文献(9)
2012(7)
参考文献(1)
二级参考文献(6)
2013(4)
参考文献(0)
二级参考文献(4)
2014(5)
参考文献(2)
二级参考文献(3)
2015(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2016(13)
参考文献(13)
二级参考文献(0)
2017(3)
参考文献(3)
二级参考文献(0)
2018(2)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2018(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2019(5)
引证文献(5)
二级引证文献(0)
2020(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
薄膜应力
应力测量
应力控制
基底曲率法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
航空材料学报
主办单位:
中国航空学会
中国航发北京航空材料研究院
出版周期:
双月刊
ISSN:
1005-5053
CN:
11-3159/V
开本:
大16开
出版地:
北京81信箱-44分箱
邮发代号:
创刊时间:
1981-08-01
语种:
中文
出版文献量(篇)
28
总下载数(次)
0
总被引数(次)
0
期刊文献
相关文献
1.
砂轮表面测量方法研究进展
2.
地震应力降研究进展
3.
光学薄膜参数测量方法研究进展
4.
薄膜应力测量研究现状
5.
纤维柔软度测量方法的研究进展
6.
快感缺失及测量方法的研究进展
7.
妊娠期压力测量方法研究进展
8.
癫痫病人生存质量及影响因素研究进展
9.
应力对钙钛矿型锰酸盐化合物影响的研究进展
10.
护理工作量测量方法研究进展
11.
PZT薄膜的研究进展
12.
蒙特卡罗方法模拟PVD薄膜生长的研究进展(综述)
13.
无创连续血压测量方法的研究进展
14.
制浆过程木材浸渍研究进展
15.
效用指标的测量方法及其研究进展
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
航空材料学报2023
航空材料学报2021
航空材料学报2000
航空材料学报2003
航空材料学报2004
航空材料学报2005
航空材料学报2008
航空材料学报2009
航空材料学报2011
航空材料学报2012
航空材料学报2014
航空材料学报2015
航空材料学报2016
航空材料学报2018
航空材料学报2019
航空材料学报2022
航空材料学报2018年第1期
航空材料学报2018年第5期
航空材料学报2018年第4期
航空材料学报2018年第3期
航空材料学报2018年第2期
航空材料学报2018年第6期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号