基片集成波导式高温压力传感器的制备与测试

• 作者: 张磊 谭秋林 逯斐 郭彦杰 郭晓威
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 基片集成圆波导(SICW) 高温共烧陶瓷(HTCC) 无线无源 高温压力传感器 共面波导天线
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 247-251,264
• 页数: 6页
• 分类号: TP212|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.04.004

摘要

提出了一种新的无线无源高温压力传感器结构,该传感器的结构主要由含有内置空腔的基片集成圆波导(SICW)谐振器和集成于波导上金属面的缝隙天线两部分组成.共面波导天线(CPW)发出的频率电磁信号通过缝隙天线耦合到传感器内部,并经由缝隙天线反馈到共面波导天线.当外部压力作用于传感器的空腔上表面时,传感器的有效介电常数发生变化,从而导致传感器的谐振频率发生变化.传感器的试样通过高温共烧陶瓷(HTCC)微组装工艺与丝网印刷技术相结合进行制备.实验过程中,共面波导天线与网络分析仪进行连接,通过网络分析仪对天线的S11参数进行测试,进而可以从频率曲线中对传感器的谐振频率进行提取.通过对制备的传感器进行不同温度下的压力测试,发现提出的压力传感器在800℃高温下仍然可以正常工作,在800℃时传感器的测试灵敏度为0.124 5 MHz/kPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭秋林	中北大学电子测试技术重点实验室	71	327	10.0	15.0
5	张磊	中北大学电子测试技术重点实验室	29	63	3.0	6.0
6	郭彦杰	中北大学电子测试技术重点实验室	3	2	1.0	1.0
10	逯斐	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	0	0.0	0.0